堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、可以任意角度安装

2、良好的线性——多段线性补偿

3、快速的响应

4、电磁阀使用寿命≥100万次

5、对零点漂移有效的抑制

6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

7、良好的选择性

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号	项目	S48 400/HMT
1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装角度	任意
5	流量控制范围	2%～100%
6	准确度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(＜30% F.S.)
7	线性	±0.5%F.S.
8	重复精度	±0.2%F.S.
9	响应时间	≤ 1 s
10	工作压差范围	(0.05~0.3)MPa(<10L/min); (0.1~0.3)MPa(10~50)L/min
11	耐压	3MPa
12	工作环境温度	5℃~45℃
13	精度保证温度	15℃~35℃
14	接触气体材料	316L,Viton®,PTFE,或其他
15	漏率	＜1×10-8Pa·m3/s
16	接头	Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他
17	输入信号	WIFI
18	输出接口	WIFI
19	通讯接口	WIFI Modbus TCP协议从机
20	供电电源	11V~25V(±2%)

其他类型